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金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  焦春美
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原位非接触探测MOCVD石墨温度分布的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  赵凤瑷;  焦春美
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金属有机物化学气相沉积设备反应室中的反烘烤沉积结构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  焦春美
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金属有机物化学气相淀积设备的多层流反应室结构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  焦春美
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一种III族氮化物衬底的生产设备 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  焦春美
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在硅衬底上生长氮化镓自支撑衬底材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  焦春美;  于英仪;  赵凤瑗
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应变调制掺杂法制备P型氧化锌半导体薄膜材料的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  刘祥林;  赵凤瑗;  焦春美;  于英仪
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一种石墨清洗装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-03-20, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11
Inventors:  焦春美;  刘祥林
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