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A SIMPLE METHOD FOR EFFECTIVELY RESTRAIN ELECTROCHEMICAL CORROSION OF POLYCRYSTALLINE SILICON BY HF-BASED SOLUTIONS 会议论文
PROCEEDINGS: IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS 页: 205-208, Cancun, MEXICO, 2011
作者:  Xie J (Xie J.);  Liu YF (Liu Y. F.);  Zhang ML (Zhang M. L.);  Yang JL (Yang J. L.);  Yang FH (Yang F. H.)
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作者:  王徽蓉;  李卫军;  刘扬阳;  陈新亮;  来疆亮
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wang HR;  Li WJ;  Liu YY;  Chen XL;  Lai JL;  Li, WJ, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. huirong@semi.ac.cn;  wjli@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu YF;  Xie J;  Zhang ML;  Yang JL;  Yang FH;  Liu, YF, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. jlyang@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Yu JL;  Chen YH;  Jiang CY;  Liu Y;  Ma H;  Chen, YH, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, POB 912, Beijing 100083, Peoples R China. yhchen@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jiang CY;  Ma H;  Yu JL;  Liu Y;  Chen YH;  Jiang, CY (reprint author), Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Key Lab Semicond Mat Sci, Beijing 100083, Peoples R China, cyjiang@semi.ac.cn;  yhchen@semi.ac.cn
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Jiang CY;  Chen YH;  Ma H;  Yu JL;  Liu Y
Adobe PDF(158Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1216/366  |  提交时间:2011/07/07