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一种MOCVD设备中的石墨盘 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-10-25
发明人:  胡强;  李晋闽;  王军喜;  曾一平;  路红喜;  伊晓燕;  马平;  魏同波;  闫建昌;  纪攀峰
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