SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
一种MOCVD设备中的石墨盘
胡强; 李晋闽; 王军喜; 曾一平; 路红喜; 伊晓燕; 马平; 魏同波; 闫建昌; 纪攀峰
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-10-25
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2014-11-06
申请号CN201410641935.8
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27654
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
胡强,李晋闽,王军喜,等. 一种MOCVD设备中的石墨盘.
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