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微机电系统薄膜材料力学性能与可靠性测试方法和装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-09-02, 公开日期: 4005
Inventors:  杨晋玲;  周 威;  杨富华 
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无权访问的条目 期刊论文
Authors:  Xie Jing;  Liu Yunfei;  Yang Jinling;  Tang Longjuan;  Yang Fuhua
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无权访问的条目 期刊论文
Authors:  Tang Longjuan;  Zhu Yinfang;  Yang Jinling;  Li Yan;  Zhou Wei;  Xie Jing;  Liu Yunfei;  Yang Fuhua
Adobe PDF(214Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1188/503  |  Submit date:2010/11/23