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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhi, Yu-Song;   Jiang, Wei-Yu;   Liu, Zeng;   Liu, Yuan-Yuan;   Chu, Xu-Long;   Liu, Jia-Hang;   Li, Shan;   Yan, Zu-Yong;   Wang, Yue-Hui;   Li, Pei-Gang;   Wu, Zhen-Ping;   Tang, Wei-Hua
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Bowen Zhang;  Wei Yan;  Zhaofeng Li;  Long Bai;  Fuhua Yang
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采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  唐龙娟;  杨晋玲;  解婧;  李艳;  杨富华
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采用13.56MHz射频功率源淀积氮化硅薄膜的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200910081224.9, 公开日期: 2011-08-31
发明人:  李艳;  杨富华;  唐龙娟;  朱银芳
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太赫兹波探测器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
发明人:  白龙;  颜伟;  杨富华
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