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Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  张硕
Adobe PDF(3543Kb)  |  Favorite  |  View/Download:690/197  |  Submit date:2016/06/12
Aln  溅射法  Si(100)衬底  氧污染  椭偏测量