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| 金属有机物化学气相淀积设备反应室中的公转自转机构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美![](/image/person.jpg)
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| 原位非接触探测MOCVD石墨温度分布的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 赵凤瑷; 焦春美![](/image/person.jpg)
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| 金属有机物化学气相沉积设备反应室中的反烘烤沉积结构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美![](/image/person.jpg)
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| 金属有机物化学气相淀积设备的多层流反应室结构 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美![](/image/person.jpg)
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| 一种III族氮化物衬底的生产设备 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美![](/image/person.jpg)
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| 在硅衬底上生长氮化镓自支撑衬底材料的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 焦春美 ; 于英仪; 赵凤瑗
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| 应变调制掺杂法制备P型氧化锌半导体薄膜材料的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-05-31, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 刘祥林; 赵凤瑗; 焦春美 ; 于英仪
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| 一种石墨清洗装置 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2006-03-20, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11 发明人: 焦春美 ; 刘祥林
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