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Fabrication of 1.3 mu m Si-based MEMS tunable optical filter 会议论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS, 4928, SHANGHAI, PEOPLES R CHINA, OCT 17-18, 2002
作者:  Zuo YH;  Huang CJ;  Cheng BW;  Mao RW;  Luo LP;  Gao JH;  Bai YX;  Wang LC;  Yu JZ;  Wang QM;  Zuo YH Chinese Acad Sci Inst Semicond State Key Lab Integrated Optoelect Beijing 100083 Peoples R China.
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Fabry-perot  Tunable Filter  Surface Micromaching  Cavity  
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Cui LJ;  Zeng YP;  Wang BQ;  Zhu ZP;  Lin LY;  Jiang CP;  Guo SL;  Chu JH;  Cui LJ,Chinese Acad Sci,Inst Semicond,Novel Mat Lab,Beijing 100083,Peoples R China.
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