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SEMI OpenIR  > 中国科学院半导体研究所(2009年前)  > 专利

专利名称: 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法
发明人: 李文兵;  韩 勤;  秦 龙;  杨晓红;  倪海乔;  杜 云;  朱 彬;  鞠研玲
授权日期: 2009-6-17
专题: 半导体研究所机构知识库_专利

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李文兵;韩 勤;秦 龙;杨晓红;倪海乔;杜 云;朱 彬;鞠研玲,一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法,CN200710179381,39428
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