一种制备氮化物单晶衬底的氢化物气相外延装置
段瑞飞; 刘喆; 钟兴儒; 魏同波; 马平; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
2008-06-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-12-21
语种中文
申请号CN200610165541.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4165
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
段瑞飞,刘喆,钟兴儒,等. 一种制备氮化物单晶衬底的氢化物气相外延装置[P]. 2008-06-25.
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