下开平动式直拉单晶炉
钟兴儒; 田金法; 吴金良; 林兰英; 陈诺夫
2000-03-29
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型实用新型
申请日期1999-03-16
语种中文
申请号CN99205457.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3283
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
钟兴儒,田金法,吴金良,等. 下开平动式直拉单晶炉[P]. 2000-03-29.
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