Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
氮化镓及其化合物半导体的横向外延生长方法 | |
冯淦; 杨辉; 梁骏吾 | |
2004-04-21 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2002-10-16 |
语种 | 中文 |
申请号 | CN02145890.1 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2855 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯淦,杨辉,梁骏吾. 氮化镓及其化合物半导体的横向外延生长方法[P]. 2004-04-21. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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