| 一种电容式超声传感器及其制作方法 | |
| 王小青; 孙英男; 宁瑾; 俞育德 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2015-02-06 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Application Date | 2015-02-06 |
| Application Number | CN201510062395.2 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27593 |
| Collection | 光电子研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王小青,孙英男,宁瑾,等. 一种电容式超声传感器及其制作方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种电容式超声传感器及其制作方法.pdf（603KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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