Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺 | |
陈诺夫; 杨霏; 尹志岗 ; 柴春林; 吴金良
| |
| 2005-03-16 | |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2003-09-10 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | CN03158500.0 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/2747 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈诺夫,杨霏,尹志岗,等. 磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺[P]. 2005-03-16. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 03158500.pdf（238KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
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