SEMI OpenIR  > 半导体超晶格国家重点实验室
一种芯片外观缺陷检测系统
李搏; 吴南健; 刘剑; 杨永兴; 杨杰
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-08-30
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体物理
申请日期2014-12-25
申请号CN201410827792.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27241
专题半导体超晶格国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
李搏,吴南健,刘剑,等. 一种芯片外观缺陷检测系统.
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