SEMI OpenIR  > 中科院半导体材料科学重点实验室
基于ART技术的硅基III-V族材料及器件研究
李士颜
Subtype博士
Thesis Advisor潘教青
2016-05-27
Degree Grantor中国科学院研究生院
Place of Conferral北京
Degree Discipline微电子学与固体电子学
Keyword高深宽比限制技术 选区外延技术 Si基iii-v族异质外延 Si基高迁移率iii-v族mosfet 纳米激光器
Subject Area半导体材料 ; 半导体器件 ; 光电子学 ; 微电子学
Date Available2016-06-02
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27167
Collection中科院半导体材料科学重点实验室
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GB/T 7714
李士颜. 基于ART技术的硅基III-V族材料及器件研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016.
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