硅衬底氮化镓材料制备生长研究
冯玉霞
学位类型博士
导师杨少延
2015-06-01
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
学位专业材料物理与化学
关键词Si衬底 Aln Gan 生长机制 应力
学科领域半导体材料
公开日期2015-06-02
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26568
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
冯玉霞. 硅衬底氮化镓材料制备生长研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2015.
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