SEMI OpenIR  > 中科院半导体照明研发中心
一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法
杜成孝; 魏同波; 吴奎; 王军喜; 李晋闽
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-01-29
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2013-10-28
申请号CN201310514197.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25482
专题中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式
GB/T 7714
杜成孝,魏同波,吴奎,等. 一种带有大面积纳米图形的蓝宝石模板制作方法.
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