基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 | |
杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 杨富华 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
Date Available | 2012-10-17 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明 |
Subject Area | 微电子学 |
Application Date | 2012-07-13 |
Application Number | CN201210243513.6 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25283 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 杨晋玲,王帅鹏,王晶晶,等. 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器. |
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基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器(869KB) | 限制开放 | License | Application Full Text |
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