| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 | |
| 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-10-17 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2012-07-13 |
| Application Number | CN201210243513.6 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25283 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 杨晋玲,王帅鹏,王晶晶,等. 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器（869KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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