| 一种氮化镓基发光二极管的外延粗化方法; 一种氮化镓基发光二极管的外延粗化方法 | |
李志聪 ; 姚然; 王兵; 梁萌; 李璟; 王国宏; 李晋闽
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| Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 |
| Date Available | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Abstract | 本发明公开了一种氮化镓基LED的外延粗化方法的流程图,包括：选择一衬底；在该衬底上生长一氮化铝镓铟成核层；在该氮化铝镓铟成核层上生长非故意掺杂氮化镓层；在该非故意掺杂氮化镓层上生长N型掺杂的氮化镓层；在该N型掺杂的氮化镓层上生长氮化铝镓铟多量子阱发光层；在该氮化铝镓铟多量子阱发光层上生长P型掺杂的氮化铝镓铟层,该层为单层或者不同组分与厚度的氮化铝镓铟叠层结构；以及在该P型掺杂的氮化铝镓铟层上生长P型掺杂的氮化镓层。利用本发明,实现了P型掺杂的氮化铝镓铟层生长时的表面粗化,制备出的LED效率相对与传统结构提高了30％以上,且其电学性质优良。 |
| metadata_83 | 中科院半导体照明研发中心 |
| Patent Number | CN102214739A |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN201110136088.6 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23512 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李志聪,姚然,王兵,等. 一种氮化镓基发光二极管的外延粗化方法, 一种氮化镓基发光二极管的外延粗化方法. CN102214739A. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种氮化镓基发光二极管的外延粗化方法.p（992KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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