SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块
宁瑾; 李永梅; 韩国威; 杨富华
Rights Holder中国科学院半导体研究所
Date Available2011-08-31
Country中国
Subtype发明
Abstract一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块,包括:一差分信号产生电路;一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接;一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接;一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接;一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接;一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接,该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接,当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时,提供相应的直流电压信号给滤波器芯片,使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。
metadata_83半导体集成技术工程研究中心
Patent NumberCN201010534603.1
Language中文
Status公开
Application NumberCN201010534603.1
Patent Agent汤保平
Document Type专利
Identifierhttp://ir.semi.ac.cn/handle/172111/22341
Collection半导体集成技术工程研究中心
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GB/T 7714
宁瑾,李永梅,韩国威,等. 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块. CN201010534603.1.
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