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感应加热式MOCVD设备的模拟仿真与研制 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  梅书哲
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Mocvd  感应加热  温度均匀性  流场温场  建模仿真  
AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  韩东岳
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Aln  Hvpe  应力  流场