| AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究 | |
| 韩东岳 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 杨少延 |
| 2016-05 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 材料工程 |
| 关键词 | Aln Hvpe 应力 流场 |
| 公开日期 | 2016-06-03 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27191 |
| 专题 | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩东岳. AlN厚膜单晶材料HVPE制备技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016. |
| 条目包含的文件 | ||||||
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| 韩东岳_硕士论文_AlN厚膜单晶材料HV（5048KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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