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中国科学院半导体研究所机构知识库
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作者:羊建坤
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期刊论文
作者:
Hu QA
;
Wei TB
;
Duan RF
;
Yang JK
;
Huo ZQ
;
Lu TC
;
Zeng YP
;
Hu, QA, Chinese Acad Sci, Inst Semicond, Beijing 100083, Peoples R China. huqiang@semi.ac.cn
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提交时间:2011/07/05
无权访问的条目
期刊论文
作者:
胡强
;
魏同波
;
段瑞飞
;
羊建坤
;
霍自强
;
卢铁城
;
曾一平
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提交时间:2011/08/16
无权访问的条目
期刊论文
作者:
Hu Q
;
Wei TB
;
Duan RF
;
Yang JK
;
Huo ZQ
;
Lu TC
;
Zeng YP
;
Hu Q Sichuan Univ Minist Educ Dept Phys Chengdu 610064 Peoples R China. E-mail Address: lutiecheng@scu.edu.cn
;
ypzeng@red.semi.ac.cn
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提交时间:2010/03/08
一种化学气相沉积装置
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162506.4, 公开日期: 2011-08-31
发明人:
段瑞飞
;
曾一平
;
王军喜
;
冉军学
;
胡国新
;
羊建坤
;
梁勇
;
路红喜
;
李晋闽
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提交时间:2011/08/31