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The ICP etching technology of 3C-SiC films 会议论文
INTERNATIONAL MEMS CONFERENCE 2006, 34: 511-515 2006, Singapore, SINGAPORE, MAY 09-12, 2006
作者:  Ning J (Ning Jin);  Gong QC (Gong Quancheng);  Sun GS (Sun Guosheng);  Liu ZL (Liu Zhongli)
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基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人:  韩国威;  宁瑾;  孙国胜;  赵永梅;  杨富华
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