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| 基于差分方法的MEMS器件信号检测电路 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010564525.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31
发明人: 韩国威; 宁瑾; 孙国胜; 赵永梅; 杨富华
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| 一种微机械谐振器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-04
发明人: 杨晋玲; 赵晖; 骆伟; 袁泉; 杨富华
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| 一种频率可切换的微机械谐振器及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-04-30
发明人: 赵晖; 杨晋玲; 杨富华
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| 频率可切换的微机械谐振器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-25
发明人: 赵晖; 杨晋玲; 骆伟; 杨富华
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| MEMS振荡器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-07-31
发明人: 赵晖; 杨晋玲; 骆伟; 杨富华
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| 频率可调的MEMS谐振器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2013-10-02
发明人: 骆伟; 赵晖; 袁泉; 杨晋玲; 杨富华
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| 具有低特征导通电阻的SiC VDMOSFET结构及其制造方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 王进泽; 杨香; 颜伟; 刘胜北; 赵继聪; 何志; 王晓东; 杨富华
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| 一种制备图形化多孔硅结构的方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人: 赵永梅; 杨香; 季安; 张明亮; 韩国威; 宁瑾; 王晓东; 杨富华
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| 一种低量程高灵敏度MEMS压力传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-19
发明人: 赵永梅; 季安; 张明亮; 杨香; 宁瑾; 王晓东; 杨富华
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| 频率可调的MEMS滤波器 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-08-30
发明人: 骆伟; 袁泉; 赵晖; 杨晋玲; 杨富华
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