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| ZnO基MEMS NO2 气体传感器的制备及性能优化研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 卢晓锐
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| 基于Al-Sc触点MEMS开关的移相器研究 学位论文
工学硕士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 张永康
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| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 郭志煜
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| 4H-SiC UMOSFETs 器件设计与关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 郭志煜
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 陈泽基
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| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 魏江涛
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| 面向血压监测的微型MEMS压阻式压力传感器的研究与制备 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 宋培帅
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| 面向宽带高效线性响应的硅基复合波导电光调制器的研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 匡迎新
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