用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 | |
魏江涛 | |
Subtype | 硕士 |
2021-06 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
Language | 中文 |
Date Available | 2021-06 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/30262 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 魏江涛. 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2021. |
Files in This Item: | ||||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
2021092-公开-硕士-集成中心-魏(5222KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment