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具有室温量子效应的硅基杂质原子晶体管研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者:  陈俊东
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基于等离子体波的室温场效应晶体管微波太赫兹探测器 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  黄镇
Adobe PDF(43171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/5  |  提交时间：2022/07/15
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
Adobe PDF(3486Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1007/55  |  提交时间：2015/06/02
氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀