中文版 | English

在结果中检索

SEMI OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者:  张硕
Adobe PDF(3543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：1015/197  |  提交时间：2016/06/12
Aln  溅射法  Si（100）衬底  氧污染  椭偏测量