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薄膜太阳能电池陷光结构的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  时彦朋
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硅薄膜太阳能电池  表面等离子体激元  光栅结构  混合陷光结构  
氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2015
作者:  杨健
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氮化铝  Mems  谐振器  有限单元法  压电系数测试  Icp刻蚀  
无权访问的条目 学位论文
作者:  魏伟伟
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无权访问的条目 学位论文
作者:  彭波华
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