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| 采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN200910081983.5, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 唐龙娟; 杨晋玲; 解婧; 李艳; 杨富华 Adobe PDF(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:2026/287  |  提交时间:2011/08/31 |
| 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235859.2, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1311/219  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010235870.9, 公开日期: 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 解婧; 刘云飞; 杨富华 Adobe PDF(453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1531/224  |  提交时间:2011/08/31 |
| 一种超高真空多功能综合测试系统 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201010171385.X, 公开日期: 2011-08-31, 2011-08-31, 2011-08-31 发明人: 杨晋玲; 刘云飞; 解婧; 杨富华 Adobe PDF(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1709/70  |  提交时间:2011/08/31 |
| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2013-09-18 发明人: 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 朱银芳; 杨富华 Adobe PDF(917Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:861/84  |  提交时间:2014/11/17 |
| 基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2012-10-17 发明人: 杨晋玲; 王帅鹏; 王晶晶; 杨富华 Adobe PDF(869Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:764/79  |  提交时间:2014/10/28 |
| 用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-29 发明人: 杨晋玲; 王晶晶; 王帅鹏; 朱银芳; 杨富华; 张宁 Adobe PDF(1510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:781/69  |  提交时间:2014/10/31 |
| 一种微光学陀螺Sagnac效应光波导芯片及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-09-10 发明人: 杨添舒; 刘雯; 时彦朋; 马静; 张端; 郑婉华; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(1332Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:981/66  |  提交时间:2014/12/25 |
| 半导体薄膜太阳能电池前后表面的陷光结构制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-05-21 发明人: 时彦朋; 王晓东; 刘雯; 杨添舒; 马静; 杨富华 Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1152/116  |  提交时间:2014/11/24 |
| 具有减反射膜的太阳能电池元件及其制备方法 专利 专利类型: 发明, 公开日期: 2014-04-30 发明人: 杨添舒; 刘雯; 时彦朋; 马静; 王晓东; 杨富华 Adobe PDF(721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:1138/102  |  提交时间:2014/12/25 |