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金属有机物化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12
发明人:  段瑞飞;  王军喜;  王国宏;  曾一平;  李晋闽
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低介电常数BCB树脂的固化方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-01-13, 2010-08-12
发明人:  程远兵;  周 帆;  潘教青;  陈娓兮;  王 圩
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Hong T (Hong Tao);  Ran GZ (Ran Guang-Zhao);  Chen T (Chen Ting);  Pan JQ (Pan Jiao-Qing);  Chen WX (Chen Wei-Xi);  Wang Y (Wang Yang);  Cheng YB (Cheng Yuan-Bing);  Liang S (Liang Song);  Zhao LJ (Zhao Ling-Juan);  Yin LQ (Yin Lu-Qiao);  Zhang JH (Zhang Jian-Hua);  Wang W (Wang Wei);  Qin GG (Qin Guo-Gang);  Hong, T, Peking Univ, State Key Lab Mesoscop Phys, Beijing 100871, Peoples R China. E-mail Address: qingg@pku.edu.cn
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