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| 皮秒激光垂直剥离4H-SiC晶圆技术研究 学位论文
工学博士, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 韩世飞
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| 基于高温退火AlN模板的深紫外激光二极管MOVPE生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2023
作者: 王大地
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| 基于氮化物的声表面波温度传感器研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2022
作者: 吕宏瑞
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| 半极性GaN的湿法腐蚀特性与生长研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 文玲
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 王天昀
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| 4H-SiC UMOSFET关键工艺研发 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2019
作者: 刘敏
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| 无权访问的条目 学位论文
作者: 赵璐
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| 低偏角碳化硅同质/异质外延生长研究 学位论文
, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2016
作者: 闫果果
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| Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 张硕
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Aln 溅射法 Si（100）衬底 氧污染 椭偏测量 |
