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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 赵俊元
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| 无权访问的条目 学位论文 作者: 刘美杰
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| 碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 田润
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| 用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 魏江涛
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| 谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何玉铭![](/image/person.jpg)
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| 基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文 , 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021 作者: 何昱蓉
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Wei Jiang-Tao; Yang Liang-Liang; Qin Yuan-Hao; Song Pei-Shuai; Zhang Ming-Liang; Yang Fu-Hua; Wang Xiao-Dong
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: He, Yuming; Lu, Ziqing; Kuai, Xuebao; Feng, Zuo; Han, Weihua; Li, Zhaofeng; Yan, Wei; Yang, Fuhua
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Liu, Meijie; Zhu, Yinfang; Zhao, Junyuan; Wang, Lihao; Yang, Jinling; Yang, Fuhua
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| 无权访问的条目 期刊论文 作者: Zhang, Taonan; Liu, Runcong; Yang, Jinling; Wang, Xiaodong
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