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无权访问的条目 学位论文
作者:  赵俊元
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无权访问的条目 学位论文
作者:  刘美杰
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碳化硅超级结结构关键工艺研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  田润
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用于微纳米材料热电性能测量的微悬空结构研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  魏江涛
Adobe PDF(5222Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:379/0  |  提交时间:2021/06/17
谐振型集成光学陀螺仪系统研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何玉铭
Adobe PDF(6703Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:425/2  |  提交时间:2021/06/18
基于硅-玻璃盖板的MEMS加速度计制备研究 学位论文
, 中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:  何昱蓉
Adobe PDF(4765Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:399/0  |  提交时间:2021/06/16
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Wei Jiang-Tao;   Yang Liang-Liang;   Qin Yuan-Hao;   Song Pei-Shuai;   Zhang Ming-Liang;   Yang Fu-Hua;   Wang Xiao-Dong
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  He, Yuming;   Lu, Ziqing;   Kuai, Xuebao;   Feng, Zuo;   Han, Weihua;   Li, Zhaofeng;   Yan, Wei;   Yang, Fuhua
Adobe PDF(6102Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2022/11/03
无权访问的条目 期刊论文
作者:  Liu, Meijie;   Zhu, Yinfang;   Zhao, Junyuan;   Wang, Lihao;   Yang, Jinling;   Yang, Fuhua
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无权访问的条目 期刊论文
作者:  Zhang, Taonan;   Liu, Runcong;   Yang, Jinling;   Wang, Xiaodong
Adobe PDF(1927Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2022/03/23