Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 | |
孙国胜; 王雷; 赵万顺; 李家业; 赵永梅; 刘兴昉
| |
| 2008-08-13 | |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请日期 | 2007-02-07 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | CN200710063709.6 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4189 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙国胜,王雷,赵万顺,等. 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置[P]. 2008-08-13. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN200710063709.6.pdf（685KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| [王雷]的文章 |
| [赵万顺]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| [王雷]的文章 |
| [赵万顺]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [孙国胜]的文章 |
| [王雷]的文章 |
| [赵万顺]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论