一种对气体传感器或半导体器件性能进行测试的系统
王晓亮; 王新华; 冯春; 王保柱; 马志勇; 王军喜; 胡国新; 肖红领; 冉军学; 王翠梅
2008-03-12
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2006-09-06
语种中文
申请号200610112883
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3975
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
王晓亮,王新华,冯春,等. 一种对气体传感器或半导体器件性能进行测试的系统[P]. 2008-03-12.
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