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气源分子束外延生长锗硅异质结双极晶体管材料掺杂方法 | |
黄大定; 李建平; 高斐; 林燕霞; 孙殿照; 刘金平; 朱世荣; 孔梅影 | |
2002-10-16 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2001-03-08 |
语种 | 中文 |
申请号 | CN01109415.X |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3075 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄大定,李建平,高斐,等. 气源分子束外延生长锗硅异质结双极晶体管材料掺杂方法[P]. 2002-10-16. |
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