| 高性能MEMS加速度计的研究与制备 | |
| 张萌 | |
| Subtype | 博士 |
| 2020-05 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
| Language | 中文 |
| Date Available | 2020-05 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29884 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张萌. 高性能MEMS加速度计的研究与制备[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2020. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2020092-公开-张萌-博士-高性能（5845KB） | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | ||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment