高性能MEMS加速度计的研究与制备 | |
张萌 | |
Subtype | 博士 |
2020-05 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
Language | 中文 |
Date Available | 2020-05 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29884 |
Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张萌. 高性能MEMS加速度计的研究与制备[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2020. |
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2020092-公开-张萌-博士-高性能(5845KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
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