| 水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究 | |
| 胡君 | |
| Subtype | 硕士 |
| 2019-06 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29339 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 胡君. 水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2019. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2019104-胡君-硕士-水平三层流 （5557KB） | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | ||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment