水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究 | |
胡君 | |
Subtype | 硕士 |
2019-06 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 中国科学院半导体研究所 |
Language | 中文 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29339 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 胡君. 水平三层流 HVPE反应室流场和热场数值模拟计算研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学,2019. |
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2019104-胡君-硕士-水平三层流 (5557KB) | 学位论文 | 限制开放 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
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