| 窄脊半导体器件的制备方法 | |
| 杨冠卿; 梁平; 徐波; 陈涌海; 王占国 | |
| Rights Holder | 中国科学院 |
| Date Available | 2017-06-05 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体物理 ; 半导体器件 |
| Application Date | 2017-01-22 |
| Application Number | 201710054287 .X |
| Patent Agent | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28210 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 杨冠卿,梁平,徐波,等. 窄脊半导体器件的制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 201710054287X.pdf（5284KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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