| 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系统及其方法 | |
| 许兴胜; 高永浩; 黄昕楠; 黎星云 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-28 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 光电子学 |
| Application Date | 2015-02-09 |
| Application Number | CN201510067561.8 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27591 |
| Collection | 光电子研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 许兴胜,高永浩,黄昕楠,等. 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系统及其方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种结合单量子点定位功能的激光直写光刻系（820KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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