Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 光谱仪显微共焦模块 | |
| 谭平恒 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体所 |
| 公开日期 | 2016-09-28 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 外观设计 |
| 学科领域 | 半导体物理 |
| 申请日期 | 2015-02-15 |
| 申请号 | CN201530046404.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27586 |
| 专题 | 半导体超晶格国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭平恒. 光谱仪显微共焦模块. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光谱仪显微共焦模块.pdf（787KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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