SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
一种扫描探针及其制作方法
杨晋玲; 何欢; 张金英; 杨富华
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-09-28
授权国家中国
专利类型发明
学科领域微电子学
申请日期2015-03-23
申请号CN201510128943.7
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27569
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
杨晋玲,何欢,张金英,等. 一种扫描探针及其制作方法.
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