| 基于腐蚀的水平全限制相变存储器的自对准制备方法 | |
| 周亚玲; 付英春; 王晓峰; 王晓东; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-22 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2015-07-15 |
| Application Number | CN201510416091.1 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27496 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 周亚玲,付英春,王晓峰,等. 基于腐蚀的水平全限制相变存储器的自对准制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 基于腐蚀的水平全限制相变存储器的自对准制（644KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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