| 一种围栅无结纳米线晶体管的制备方法 | |
| 马刘红; 韩伟华; 付英春; 洪文婷; 吕奇峰; 杨富华 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-22 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 微电子学 |
| Application Date | 2015-08-11 |
| Application Number | CN201510490086.5 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27484 |
| Collection | 半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 马刘红,韩伟华,付英春,等. 一种围栅无结纳米线晶体管的制备方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种围栅无结纳米线晶体管的制备方法.pd（842KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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