| 一种多功能组合型纳米图形制作方法 | |
| 张勇辉; 魏同波; 王军喜; 李晋闽 | |
| Rights Holder | 中国科学院半导体所 |
| Date Available | 2016-09-12 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Subject Area | 半导体器件 |
| Application Date | 2014-11-18 |
| Application Number | CN201410658845.X |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27465 |
| Collection | 中科院半导体照明研发中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张勇辉,魏同波,王军喜,等. 一种多功能组合型纳米图形制作方法. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种多功能组合型纳米图形制作方法.pdf（1057KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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