一种微区荧光扫描测量系统
秦旭东; 张宏毅; 叶小玲; 陈涌海
专利权人中国科学院半导体所
公开日期2016-08-30
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2014-12-02
申请号CN201410720085.0
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27264
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
秦旭东,张宏毅,叶小玲,等. 一种微区荧光扫描测量系统.
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