蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 | |
孔苏苏 | |
Subtype | 硕士 |
Thesis Advisor | 杨少延 |
2015-06-01 | |
Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
Place of Conferral | 北京 |
Degree Discipline | 材料工程 |
Keyword | 氮化铝 Hvpe 应力 |
Subject Area | 半导体材料 |
Date Available | 2015-06-02 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26570 |
Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 孔苏苏. 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015. |
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