| 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究 | |
| 孔苏苏 | |
| Subtype | 硕士 |
| Thesis Advisor | 杨少延 |
| 2015-06-01 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Degree Discipline | 材料工程 |
| Keyword | 氮化铝 Hvpe 应力 |
| Subject Area | 半导体材料 |
| Date Available | 2015-06-02 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/26570 |
| Collection | 中科院半导体材料科学重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 孔苏苏. 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 蓝宝石衬底氮化铝材料HVPE生长研究.p（4691KB） | 限制开放 | License | Application Full Text | |||
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